键合封装原子气室

产品介绍

基于阳极键合技术实现的原子气室，支持内部封装多种光学和射频器件，如光学反射镜、微型金属谐振腔/环，并且可置入对应的支撑结构。作为原子精密测量系统的核心部件使用，具有小型化和集成化、高气密性等特点。相比传统胶接工艺，其封接面具有耐高温、耐侵蚀等优势。